外部调节探针台可通过宽温域控温、精准电学测试及灵活操作设计,有效表征材料电学特性随温度的变化规律,其核心功能与优势如下:
一、宽温域精确控温能力
1.温度范围:ECH400V-EM具备4K至1700℃的超宽温度控制范围,覆盖从超低温到高温的极*条件,满足不同材料(如金属、半导体、陶瓷、高分子等)的测试需求。
2.控温精度:采用高精度PID控制器或模糊逻辑算法,结合液氮制冷、电阻加热、红外加热等多模式集成技术,实现温度的精准闭环控制,确保实验过程中温度稳定性,减少系统误差。
3.升降温速率:支持1-10℃/min的可控升降温斜率,可快速切换温度,适应材料弛豫特性研究或快速温度循环测试需求。
1.探针测试模块:通过外部调节探针座,可手动移动探针至样品表面任意区域,实现点对点精准接触。探针针尖设计优化(如弹簧结构防划伤),确保与样品电接触良好,降低接触电阻波动。
2.多参数测量:可搭配阻抗分析仪、高阻计、源表等设备,同步测量电阻、电容、电感、介电常数、介电损耗等电学参数,全面分析材料电学性能随温度的变化规律。
3.测试模式:支持直流(DC)测试、交流(AC)测试、脉冲(Pulse)测试等多种模式,适应不同材料特性(如半导体、绝缘体、导电高分子)的测试需求。
三、操作灵活性与兼容性
1.外部调节设计:探针座位于设备外部,通过位移台手动调节,操作直观且灵活,便于快速定位测试点,尤其适合复杂样品或需要频繁更换测试位置的场景。
2.样品适配性:支持多种规格样品(如薄膜、块体、粉末等),样品尺寸限制小,满足不同材料形态的测试需求。
3.接口兼容性:通过GPIB、USB及LXI总线协议,可无缝对接KEYSIGHT B1500A半导体参数仪、ROHDE&SCHWARZ ZNB矢量网络分析仪等主流设备,实现变温过程中IV曲线、电容-电压谱、阻抗谱的同步采集。
四、外部调节探针台环境控制与稳定性
1.气氛控制:探针台上盖与底壳构成气密腔,可充入氮气等保护气体,防止样品在负温下结霜或高温下氧化,确保测试环境稳定性。
2.防震设计:采用三级防震结构,将环境振动引起的探针接触电阻波动控制在10mΩ以内,提升低阻材料(如金属薄膜)测试的重复性误差(≤3%)。
3.安全保护:配备极限温度保护、探针防划伤、负温除霜等功能,延长设备寿命,保障操作安全。
